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為了保證SF6氣體的絕緣特性，降低SF6氣體分解物所產(chǎn)生的酸性副產(chǎn)品物質(zhì)的形成，須將高壓電氣設(shè)備氣室中的水氣含量保持在盡可能低的水平。雖然注入的是干燥的SF6氣體并做到了高壓下的密封，沒(méi)有外界新氣流入，但由于氣室內(nèi)外存在較大差距的水氣分壓，水分子還是有很強(qiáng)的侵入能力，特別是長(zhǎng)期運(yùn)行后的高壓電氣設(shè)備更應(yīng)注意氣體濕度。
  傳統(tǒng)的濕度檢測(cè)是周期性抽取氣體樣氣，但近年來(lái)結(jié)合了SF6露點(diǎn)在線(xiàn)測(cè)量的狀態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)逐漸興起。然而這類(lèi)在線(xiàn)測(cè)量應(yīng)用遇到了很大的挑戰(zhàn)，它完全不同于工業(yè)領(lǐng)域的一般露點(diǎn)測(cè)量，也不同于SF6絕緣設(shè)備上的壓力、溫度測(cè)量。它的特殊之處在于露點(diǎn)變送器的安裝方式、測(cè)量系統(tǒng)中材質(zhì)的選取以及接頭種類(lèi)都將決定是否為設(shè)備維護(hù)和管理者真實(shí)提供了想要得到的且有價(jià)值的測(cè)量數(shù)據(jù)。此外，如果地處偏遠(yuǎn)地區(qū)，高壓電氣設(shè)備的狀態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)更需要高可靠性的表，更長(zhǎng)的維護(hù)周期。
水氣壓和露點(diǎn)：
  自然界水氣無(wú)處不在，水氣壓是總氣壓的一部分。例如空氣的總壓力就是大氣壓，而氣體絕緣設(shè)備(GIE)的總壓力就是系統(tǒng)壓力。
  露點(diǎn)或者霜點(diǎn)(Ta)的定義是某種氣體中的水氣分壓(p)等于它的飽和水氣分壓(p)所對(duì)應(yīng)的溫度，換句話(huà)說(shuō)，露點(diǎn)/霜點(diǎn)就是某種氣體被冷卻后，其中的水氣冷凝成露水或霜1時(shí)的度。
  人們通常將霜點(diǎn)(＜0℃)用“露點(diǎn)”這個(gè)術(shù)語(yǔ)替代。但是很重要的一點(diǎn)是須知道某種傳感器測(cè)量的是什么參數(shù)，這在不同原理的測(cè)量?jī)x表之間的比較時(shí)尤其重要。
  露點(diǎn)不是一個(gè)與溫度相關(guān)聯(lián)的參數(shù)，因此可以通過(guò)測(cè)量另一溫度下的樣氣得出。但露點(diǎn)卻與壓力有很強(qiáng)的相關(guān)性，因此很關(guān)鍵的一點(diǎn)是確保測(cè)量點(diǎn)的壓力與主氣流(即系統(tǒng))的壓力一致，或者知道測(cè)量點(diǎn)的準(zhǔn)確壓力以便進(jìn)行不同壓下的露點(diǎn)換算。例如，將4bar下的露點(diǎn)換算成常壓露點(diǎn)。
水氣擴(kuò)散：
  水分子在氣相中不是束縛在一起，由于體積很小它們可以自由地移動(dòng)。水蒸汽在不同狀態(tài)間總是趨于達(dá)到某種平衡，即水分子總是由高壓向低壓遷移，甚至?xí)南到y(tǒng)中高分子材料密封圈或者沿著接頭的金屬表面滲透。這種特性也會(huì)發(fā)生在環(huán)境總壓力較低而系統(tǒng)壓力較高之間，例如大氣空氣環(huán)境與SF6高壓電氣設(shè)備間。因此不但要考慮壓力密封而且還要做到水氣密封。這種擴(kuò)散效應(yīng)非常緩慢，對(duì)于大容量氣體可以忽略不計(jì)。但是對(duì)于在線(xiàn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中測(cè)量單元內(nèi)小體積的靜止氣體而言就是很顯著的，特別是這種擴(kuò)散發(fā)生在傳感器周?chē)?br/>水分遷移：
  一個(gè)氣體密封的系統(tǒng)中的水蒸汽壓力和露點(diǎn)不是一成不變的，即便假設(shè)周?chē)諝庵兴肿記](méi)有向系統(tǒng)中擴(kuò)散。密閉系統(tǒng)中溫度的變化造成了水分(水蒸氣)在兩種狀態(tài)間遷移，即氣態(tài)中水分與接觸氣體的固態(tài)物質(zhì)中水分之間遷移。當(dāng)溫度上升，系統(tǒng)中不同部位的溫度差異會(huì)引起固體中的水分向氣體中遷移，這是因?yàn)楣虤鈨蓚€(gè)狀態(tài)中的水分要趨向平衡，即平衡相對(duì)濕度一致。而溫度下降水分遷移則是一個(gè)相反過(guò)程。氣體絕緣設(shè)備(GIE)系統(tǒng)中的水分來(lái)源主要是金屬和有機(jī)物質(zhì)表面的空隙，如墊片和密封劑2，3等，與氣體接觸的固體物質(zhì)的表面積越大，表示水分遷移效果的露點(diǎn)值也越大。